电离真空计新标准

IRG080电离真空计介绍

       IRG080 提供低至 1% 的精度、可预测的气体灵敏度和非常小的扩散、非常好的短期可重复性和再现性。该测厚仪是计量和校准的理想解决方案。IRG080 由 IRC081 显示器和操作单元连接和控制。

优势:

1为在高真空和超高真空范围内需要高测量精度的应用而开发

2符合 ISO TS 6737 的电极系统配置

3由于可预测的相对气体灵敏度和较小的不确定性，所有气体种类的真实压力

4稳定的电子发射，不受ESD或X射线效应的影响

5可重复且易于运输

6可烘烤至 165 °C（使用耐温电缆）或高达 400 °C（不带连接器单元）

7用于磁屏蔽的Mu金属中间

运营单位:离子参比计控制器 IRC081

参考标准：

1N 的精度低于 1%2

2可预测的气体灵敏度，扩散非常小 （<1.5%）

3真正的总压力测量

4ji jia的短期重复性 （<1%） 和重现性 （<1%）

测量原理：电子离开阴极（左侧），被阳极加速至200 eV，由离子收集器聚焦。电子路径的长度是很好的表征，因此仪表的灵敏度是可预测的。阳极栅内电子产生的离子被加速到集电极并测量为电流。阳极栅外产生的离子被导流板捕获。

一个完整的软件包：

1通过离子参比计控制器IRC081的操作和显示界面

2用户可以控制 IRG080 仪表参数

3IRC081 用户界面软件 （LabVIEW ） 中显示的设置和测量值TM系列)

4数据和参数记录功能

规格：

测量系统    热阴极电离

电极系统配置    符合 ISO TS 6737 标准

测量范围 （N2） 带 IRC081 控制器<1×10-8...1×10-4毫巴    

灵敏度 （N2，典型值）    29 毫巴-1

精度 （N2，典型值）    阅读量的<±1%

重复性 （N2)    阅读量的<1%    

馈通    铝2O3陶瓷

烘烤温度    ≤400°C

暴露在真空中的材料    不锈钢、镍铁钴、铝2O3、塔、西