全金属角阀

全金属角阀门(Bakeable All-Metal Valve)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,铜垫片之密封垫被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。Htc日扬真空提供之全金属阀门设计适用于超高真空的环境下,其封止用的垫片是可耐大温差之金属垫片。

全金属角阀的技术参数：

• 工作温度范围：可烘烤至：400℃（开），300℃（闭）。

• 压力范围：1x10- 10 torr 到 760 torr。

• 全不锈钢结构。

• 泄漏率：10 - 10 mbar·l/sec.

• 封扭矩：
  　CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
  　CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
  　CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.
  
  

• 寿命周期(用于Gasket垫片密封)：
  　CR16 : 垂直/水平安装方向300次
  　CR35 : 垂直/水平安装方向300次
  　CR63 : 垂直安装方向300次 水平安装方向100次
  
  

• 方向：任意位置。